导  读：

最近，山东大学苗庆海教授领导的研究团队在微电子器件及其可靠性的研究方向上取得了突破。利用mqh算法，建立了基于电学测量方法的微电子器件热谱分析方法。

这项成果的选题来源于困扰微电子学领域的一个国际科技难题，即用电学方法测量微电子器件芯片的不均匀温度分布问题。国际电工委员会的技术标准iec 60747-7和美国的mil-std-883e是国际上广泛采用的测量微电子器件结温的两个系列标准。世界上采用英国bs iec 60747-7、中华人民共和国国家标准gb/t 4587-94和《中华人民共和国国家军用标准微电子器件试验方法和程序》gjb548a-96，五个标准计算公式均将不均匀的结温分布视为均匀的来计算结温。iec 60747-7还特别声明:“请注意，该测量方法假设当晶体管消耗功率时，结温分布是均匀的，与校准晶体管时的温度相同。这个假设可能不正确。”针对这一问题，对于密封在体内的无形半导体芯片，苗庆海教授以发现的“小电流超温效应”为突破口，应用mqh算法建立了基于电学测量方法的“微电子器件热谱分析方法”，成功解决了这一国际难题。

研究结果也从理论和实验两个方面证明了iec 60747-7的理论错误，并把这一发现称为iec。负责半导体分立器件的IEC主席annie delort女士回复接受该提议，感谢苗庆海教授等人对iec 60747-7的贡献。

本研究得到了国家自然科学基金的多次资助，相关成果得到了相关部门的评价。半导体器件可靠性分析仪是与中国电子科技集团第十三研究所共同设计和生产的。

目前，山东大学苗庆海教授领导的微电子器件及其可靠性研究组正在深入、广泛地开展“微电子器件热谱分析方法”的研究，同时正朝着实用化、产业化的方向发展，力争进入国内外标准行列。