攻克芯片漏电难题 TI高
德州仪器(德州仪器)宣布在其45纳米高性能芯片中使用高k介电薄膜,从而进入了高k介电薄膜的新时代。
Ti计划在栅叠层应用中使用高k介电薄膜,因为传统的二氧化硅材料正在耗尽。多年来,高k介电薄膜一直被认为可以解决芯片设计中的泄漏和功率问题。
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Ti计划首次在sunmicrosystems的sparc芯片中使用高k介电薄膜,并继续在45纳米及以上的芯片中使用。Ibm、英特尔和nec都宣布了使用高k介电薄膜的过程,而ti的高k介电薄膜具有一定的优势。
通过使用氮化物化学气相沉积技术,钛可以解决漏电问题,而不减少其他参数。
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